云南XRD搖擺曲線檢測-半導體XRD檢測機構

XRD搖擺曲線檢測——廣東省科學院半導體研究所是廣東省科學院下屬骨干研究院所之一，XRD搖擺曲線檢測服務，主要聚焦半導體產業發展的應用技術研究，兼顧重大技術應用的基礎研究，從事電子信息、半導體領域應用基礎性、關鍵共性技術研究，以及行業應用技術開發。

單峰搜索法是Jade很有特色的一種檢索方法。當多數主要物相被檢索出來，XRD搖擺曲線檢測哪家好，但還存在某幾個衍射峰未歸屬時，這種方法特別有效。其方法是：選擇“計算峰面積(Peak Paint)”按鈕，選定一個角度范圍進行檢索。

這種方法的特點是：

(1) 檢索出來的物相是在角度范圍內有衍射峰的物相；

(2) 可同時選擇幾個相似的衍射峰；

(3) 加上其它限定條件，可以檢索出樣品中全部物相。

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解決的辦法通常有3種：

(1) 換一張卡片試試

所謂結構精修，云南XRD搖擺曲線檢測，即以的某種物相結構為“初始值”進行反復地迭代修正，XRD搖擺曲線檢測機構，逐步逼近測量峰的位置。當所選卡片的峰位與測量峰位偏離太多時，因為“初始值”離真實值太遠了，無法精修下去。如換張卡片，也就是改變初始值，則更容易精修。因為，換卡片只是改變初始值，所以并不影響精修的結果。

(2) 選擇All sible reflecti

如果樣品為單相，則可以不進行物相檢索，在尋峰或擬合后直接選用全部衍射峰進行精修。另外，有時雖然Unable to Graft hkl‘s to peaks，但還是出現了精修的界面，選擇All sible reflecti進行精修是可行的。

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同時存在晶粒細化與微應變

令K=1，作圖，用小二乘法作直線擬合，則從直線的斜率可求出微觀應變；而直線在縱坐標上的截距即為晶塊尺寸的倒數。

晶粒尺寸與微觀應變計算時應當注意的問題

首先，應當正確地判斷樣品的衍射峰寬化的原因。Jade采用作圖法，如果數據點基本上是在一條水平線附近，則應當只有晶粒細化的因素存在；若數據點保持在一條斜線附近，則表明有微應變存在。此時應進一步判斷是否除微應變外是否還存在晶粒細化。

其次，測量前應當制作相應的儀器寬度曲線。測量儀器寬度曲線的樣品應當是粗晶粒且無應變的粉末樣品。儀器寬度曲線的測量應當與樣品的測量條件相同。不同的測量條件可能導致不同的儀器寬度變化規律。

后，合適的擬合條件也是很重要的，不同的擬合參數可能會得到不同的計算結果。

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